Призначення. Використання у рентгенівських фазоконтрастних томографах для ранньої діагностики онкологічних, серцево-судинних та неврологічних захворювань.
Технічні характеристики.
- Період шаблонів ґраток, мкм 4—100
- Висота шаблону, мкм 1—40
- Сорт іонів пучка Н+
- Енергія пучка, МеВ 0,2—1,7
- Розмір шаблону, мкм2 2000 × 500.
Галузь застосування. Медицина.
Переваги. Особливістю запропонованого методу є можливість опромінювати резистивний зразок уздовж усієї лінії одночасно, на відміну від літографічних технологій, де застосовується аксіальна оптика і пучок у вигляді круглої плями послідовно опромінює лінію. Це дає змогу значно зменшити час опромінення резистивного зразка і отримати шаблони ґраток за декілька секунд.
Опис. Використовуються фізичні принципи фокусування протонного пучка енергії МеВ у лінію за допомогою квадрупольної зондоформівної системи ядерного сканувального мікрозонда з використанням протонно-променевої літографії.