Призначення. Використання в плазмовій технології як джерела іонів для нано- та мікроаналітичних аналізаторів, мас-спектрометрів з індуктивно-зв’язаною плазмою.
Технічні характеристики:
- Розроблено як компактний генератор плазми з магнітними системами на постійних магнітах.
- Тип іонів пучка Н+, Не+, Ar+
- Яскравість пучка 300 А/м2 ⋅rad2 ⋅ еВ
- Концентрація плазми n ~ 1013 ⋅ cм–3
- Робочий тиск газу, мТорр 10
- Споживана ВЧ потужність, Вт.
Галузь застосування. Нано- та електроніка.
Переваги. Порівняно з відомими аналогами розроблені джерела іонів споживають у 10 разів менше енергії за тих самих параметрів іонного струму. Збільшення густини плазми в джерелі досягається створенням ефективного ВЧ-розряду із зовнішнім магнітним полем.