Призначення. Для встановлення основних фізичних закономірностей протікання процесів, що мають місце в тонких металевих плівках та гетероструктурах на їх основі під впливом дії атомарного водню.
Галузь застосування. Результати розробки можуть бути використані на підприємствах електронної промисловості, приладобудування.
Переваги. У порівнянні із відомими і використовуваними методами зміни електрофізичних параметрів, такими як лазерний відпал, високотемпературний відпал, модифікація електрофізичних параметрів тонких металевих плівок під дією атомарного водню характеризується більшою контрольованістю процесу, меншим впливом на вихідні параметри підкладинок.
Техніко-економічний ефект. Робота присвячена встановленню основних фізичних закономірностей протікання процесів, що мають місце в тонких металевих плівках та гетероструктурах на їх основі під впливом дії атомарного водню. На базі виявлених процесів взаємодії атомарного водню із тонкими металевими плівками та гетероструктурами на їх основі можливо сформулювати концепції технології низькотемпературного керування як електрофізичними властивостями тонких металевих плівок, так і гетероструктур на їх основі. Під дією механізмів, що протікають, можливо змінювати електропровідність тонких металевих плівок (як у бік збільшення, при умові дефектної плівки, так і у бік зменшення), збільшувати адгезійні та когезійні властивості плівок, тензометричний коефіцієнт плівок, електричні властивості контакту метал-напівпровідник.