Призначення. Для контроля шорсткості поверхні великогабаритних деталей; on-line контроль; допускається відхилення форми контрольованої поверхні від плоскої.
Галузь застосування. Хімічна промисловість, електроніка, машинобудування, приладобудування, мікроелектроніка, нанотехнології, оптика.
Переваги. Швидкодія – один вимір за секунду (можливість контролю в реальному часі); вібростійкість (можливість встановлення системи безпосередньо на станку, що виготовляє деталь); неруйнівність; компактність.
Опис. Принцип роботи системи базується на вимінюванні поперечної функції когерентності поля, відбитого від шоpсткої повеpхні в схемі поляpизаційного інтеpфеpометpу зсуву. Оскільки в такому інтеpфеpометpі поле порівнюється саме з собою, то відхилення фоpми повеpхні від плоскої пpактично не впливає на точність вимірів. Це дозволяє контpолювати повеpхні з pадіусами кpивизни до 200 мм. Роздільна здатність по середньоквадратичному відхиленню профілю від базової лінії Rq складає 0,001 мкм. Границі вимірюваних висот по Rq – 0.002 – 0.15 мкм.